二手 SONEX 300 #9215008 待售

SONEX 300是一種自動化晶圓處理設備，用於提高集成電路的質量。它能夠提供高吞吐量、高產量和可靠的工藝結果,而且非常靈活。該系統由兩個主要組件組成：一個機器人裝載機/卸載機和一個化學處理模塊。機器人裝載機/卸載機一次最多可以移動四個晶片進入一個進程，並且可以處理直徑最大為三英寸的晶片尺寸。它還包括用於處理和旋轉夾緊晶片的夾具和屏障，以及自動視覺選項。化學處理模塊包含一個多級處理容器，用於化學浴池、清潔劑和蝕刻溶液。這些浴池中充滿了溶液，這些溶液用於從晶圓表面去除圖樣化的光刻膠。設備可以同時執行批處理和串聯操作,從而實現更大的靈活性和對過程結果的控制。另外，300臺機器配備了閉環控制工具，可以精確控制晶圓處理參數。資產還包括一個可選的溫度調節烘幹機，用於在晶片加工完成後進行幹燥。這種烘幹機有助於減少氧化和防止晶片表面的汙染。總體而言，SONEX 300晶片加工模型旨在提高集成電路晶片制造的產量、性能和可靠性。它是一種先進的設備，可以高效生產高質量的集成電路。