二手 SONGMAO SM-60120ULH #9315465 待售

SONGMAO SM-60120ULH是一種高性能晶圓加工設備，旨在為工業和研究應用提供可靠和高效的生產。該系統是一個完全自動化和靈活的平臺，能夠處理各種格式和大小的基材。該設備具有較大的工作區,可提供出色的基板吞吐量以保持生產率。超低載荷高度（ULH）降低了基板上的應力，從而改善了基板質量。出色的低級噪聲和隔振進一步加強了這一點，有助於減少潛在的汙染。該機配備了高精度的晶圓傳輸底盤，允許雨刷和基板的精確定位和對準。利用先進的運動控制平臺使SM-60120ULH的控制和自動化成為可能。這個最先進的平臺提供了許多功能，包括溫度控制、定時和運動控制，以及調整各種電機參數的能力。此外,還可以設置該工具,並以各種自動和手動模式運行。數據收集和生產分析可以使用各種軟件包進行，允許用戶跟蹤和監控每個加工過的晶片的質量。資產可以配置各種工藝工具，包括光刻系統、蝕刻系統和其他工藝工具。此外,該型號還可與EQ洗滌器、防旋轉器和幹蝕刻器兼容,從而提供額外的靈活性。SONGMAO SM-60120ULH帶有微處理功能，允許對每個工藝配方的精確參數進行精確設置。除了上述特點外，SM-60120ULH還配備了若幹安全裝置，包括操作時保護敏感區域的機械快門，以及警告潛在危險的光學安全眼睛。該設備還具有一個軟啟動開關以減少操作沖擊,以及一個故障安全開關以實現緊急情況下的快速關閉。總體而言，SONGMAO SM-60120ULH是一個全面、通用的晶圓處理系統。它能夠使用各種工具和工藝處理各種基材，並能夠收集和分析生產數據，使其成為高性能工業和研究晶圓加工的理想選擇。