二手 SONOMAXS MH2014D / FC2025 #9296306 待售
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SONOMAXS MH2014D/ FC2025是一種多功能、多應用、其他晶圓處理設備,設計用於生產集成電路、微機電系統(MEMS)和薄膜光學元件。它能夠在環境汙染最小的情況下處理矽、砷化氙和多晶矽晶片。系統的主要部件包括基板輸送單元、基板處理程序、主框架、晶圓載體和光學投影/曝光機。基板輸送工具旨在將晶片從負載端口移動到基板處理程序。它有一個三軸線性級,確保在三個維度上精確的片材和晶圓定位。基板處理程序最多可容納20個晶圓載波。它有一個可以旋轉到600 rpm的旋轉電動機。此外,導桿和密封板確保晶片的精確和安全處理。主框架由不銹鋼和硬化合金鋼組合而成,耐用。它容納了所有的資產組成部分,設計用來抵禦汙染以及散熱整個模型產生。晶片托架在晶片從基材處理器移動到整個加工室時牢固地固定著晶片。晶片載流子的設計使晶片處理和汙染最小化。光學投影/曝光設備設計用於執行光刻、計量和電子束曝光。它利用科學的互補金屬氧化物半導體相機和光纖激光進行精確成像。曝光過程通過掃描控制軟件精確控制。此外,光纖激光器為精確成像提供了強大的輸出.最後,系統通過基於Windows的圖形用戶界面操作。它包括預先配置的工藝配方,以及自定義和編輯這些配方以滿足特定行業要求的能力。該設備還允許遠程訪問和控制,以便對計算機的進程進行當前和遠程監視。總之,MH2014D/ FC2025是一種多功能、多應用、其他晶圓處理工具,設計用於生產集成電路、微電子機械系統(MEMS)和薄膜光學元件。它是一種高度通用的資產,具有精確的成像功能以及用於可靠操作的溫度和汙染控制模型,是廣泛應用的理想解決方案。
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