二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton 221 MIL #9267754 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL是一種半導體晶圓處理設備，設計用於滿足復雜設備應用的各種晶圓處理需求，包括MEMS（微機電系統）和MEMS/CMOS（互補金屬-氧化物-半導體）設計。TREK Triton 221 MIL能夠對直徑達8英寸/200毫米的全尺寸晶片進行掩蔽和蝕刻,是一系列先進技術開發和生產過程的關鍵部分。WESTEK Triton 221 MIL由一個裝有發動機、電源和控制器模塊的主機櫃和一個裝有定制真空系統的腔室組成。它配備了一個大幅面的機器人裝載機，可以處理高達200毫米的晶片，同時提供卓越的精度和可移動部件的可重復性。通過帶有「直觀」圖形用戶界面（GUI）的PC界面對設備進行控制,該界面可輕松訪問所有主要的計算機功能。該工具還包括各種集成工藝選項，以促進各種半導體器件處理需求。Triton 221 MIL具有各種蝕刻選項,包括反應性離子蝕刻（RIE）和深度反應性離子蝕刻（DRIE）,可提供卓越的性能。在較高的溫度和較高的精度（低於1埃分辨率）下,它們提供高達1微米/分鐘的蝕刻速率。蝕刻工藝利用工藝氣體和完全可編程的偏置電壓進行保形蝕刻，使復雜形狀的蝕刻具有更高的均勻性。可選的掩蔽資源與STOELTING Triton 221 MIL集成,旨在為MEMS和MEMS/CMOS結構提供有效的晶片掩蔽。它具有自動對齊的特點，可以精確對齊標記工具，以實現光刻材料的一致應用。掩蔽模型還包括DVD自動刮擦功能,可在蝕刻前去除不需要的光刻膠。STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL是為了極致的可靠性而設計的，具有一系列的安全感應器來偵測關閉條件，以及一個腔室壓力監測設備，如果超過設定的點將會自動關閉單元。該系統還包括一個維護程序,該程序可以安排或設置為定期觸發警報消息,以確保設備保持良好的工作狀態。總體而言，TREK Triton 221 MIL是半導體晶圓加工機的絕佳選擇，為復雜的設備應用提供準確可靠的蝕刻和掩蔽工藝。該工具易於使用和維護,可選的掩蔽資源使其成為MEMS/CMOS開發和生產過程的理想選擇。