二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton I #129982 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Triton I是一種晶圓加工設備，設計用於尖端制造微納米級MEMS器件、光電等高精度元件。這個最先進的系統具有獨特的「烹飪冷卻」工藝，能夠精確控制整個制造過程中熱和化學過程的輸送。TREK Triton I還提供了一系列晶圓尺寸,以實現各種基板的最佳性能-從半導體晶圓到玻璃基板-以及幾種不同的沈積、蝕刻或組合加工工藝室。WESTEK Triton I配備了最新的晶圓處理軟件,具有易於使用的圖形用戶界面（GUI）和簡化的導航功能。其先進的控制算法允許方便的設置和操作，用戶還可以添加自定義命令和配方以適應特定的要求。該裝置的自動化腔室和氣體輸送系統還允許操作員在工藝和基板之間快速切換，從而節省了時間和成本。Triton I的集成自動對準和晶圓識別系統在對準和處理速度方面提供了最佳精度，而其強大的掃描和圖像捕獲機則允許對成品材料進行超精確的檢查。該工具還具有集成的真空資產,可實現快速、安全和清潔的操作。STOELTING Triton I因其較大的工藝室尺寸，在光電等大型部件的制造中特別有用。腔室可容納各種基材，從小到大的密封或未密封基材，最大基材尺寸可達300毫米。它還具有集成的等離子體蝕刻能力，以及反應性離子和等離子體增強化學氣相沈積。所有這些功能使STOELTING/TREK/WESTEK Triton I具有處理傳統和定制制造需求的多功能性。TREK Triton I為制造MEMS傳感器、光學元件、MEMS執行器和高端MOEMS（光學微機電系統）等應用提供了最高水平的精度。它設計得非常快和可靠，能夠優化制造周期和高吞吐量。同時，其創新技術為用戶提供了最大的安全性，以及出色的重復性和人性化操作。WESTEK Triton I是那些在晶圓處理系統中尋找終極目標的人的答案。