二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton I #9205019 待售
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STOELTING/TREK/WESTEK Triton I晶圓處理設備是一種由儲能和以太網制造、TREK和WESTEK開發的強大且高度自動化的技術。它具有先進的晶圓處理能力和集成的處理解決方案,旨在提供最高水平的生產吞吐量。針對集成電路、平板顯示器和先進設備技術的生產實現最大吞吐量速度和嚴密過程控制進行了優化。該系統配備了最先進的、靈活的晶片處理技術。它擁有先進的晶片處理解決方案,包括帶有微型卡盤和集成傳感器的晶片加載平臺,以實現精確處理。安裝在平臺上的原位炮塔在插入後自動識別晶片,並將其定向到腔室中。它還通過其基於編碼器的單元提供實時腔室位置反饋。該機還提供了廣泛的工藝能力,包括快速退火、原位氧化蝕刻沈積(OED)、PECVD和熱壁-AMI。它能夠在從-50˚c到1200˚c的溫度範圍內運行,允許在運行過程中支持高達6,912個介電層的工藝溫度和顯示低泄漏電流的摻雜物水平。TREK Triton I還配備了全套安全和端點監控功能。其先進的控制和監控工具為用戶提供了對所有參數的完全控制,以確保最高的工藝產量。這包括根據一系列自定義度量來調整溫度、壓力和大氣水平的能力。此功能還允許減少停機時間和生產故障。WESTEK Triton I晶圓處理資產是一項功能強大且全自動的技術,其集成的處理解決方案和先進的晶圓處理能力旨在產生最高的生產吞吐量。它是使用現有的最先進的材料和工藝制造的,旨在為用戶提供所有必要的工具,以確保以可靠和高效的生產解決方案獲得最大的產量。
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