二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV MIL #9007161 待售
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ID: 9007161
SMT system
Stainless steel mesh belt, 18" usable
Upper and lower prewash spray bars from 10 HP heated wash pump
(4) Upper and (4) lower wash spray bars from same 10 HP heated wash pump
Stage 1:
Upper SST Airknife and SST lower Airknife supplied by first 15 HP blower in dry section
Stage 2:
Wet isolation with upper and lower spray bar from 10 HP heated rinse pump
Stage 3:
SST upper Airknife and SST lower Airknife from first 15 HP blower in dry section
(3) Upper and (3) lower spray bars from 10 HP heated rinse pump
Upper and lower final rinse spray from DI supply
15 HP Turbine blower with (2) upper and (1) lower SST Airknives
15 HP Turbine blower with (2) upper and (2) lower SST Airknives
Upper IR heater penel with temperature controller
460 V, 3 phase, 180 A.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MIL是專為先進半導體制造作業而設計的綜合性、高性能晶圓加工設備。該系統具有4軸旋轉臺、一次最多可容納10個晶片的對接站以及用於晶片表面現場檢測的專利晶片檢測技術。TREK Triton IV MIL為實現最高的效率和吞吐量而設計,利用最新技術提供自動晶圓熱處理。旋轉臺允許晶片旋轉，精確、重復地控制加熱。對接站配有溫度和壓力傳感器，可連續監控晶圓溫度，並確保其在每個周期內保持均勻。獲得專利的晶片檢測技術包括光二極管傳感器陣列和發光二極管（LED），它們掃描晶片表面並檢測任何異常。該單元具有廣泛的自定義選項,允許用戶微調處理參數以滿足特定的需求和目標。這包括對材料和氣體的全面選擇，以滿足幾乎任何晶圓的建造要求。WESTEK Triton IV MIL的靈活性允許用戶根據自己的特定產品需求量身定制流程。Triton IV MIL還提供自動數據記錄、分析和機器監控功能,可提供有關刀具性能和準確性的寶貴信息。溫度和壓力傳感器的數據記錄在整個過程中，並進行分析，提供有關所達到的溫度均勻性和過程中的任何差異或差異的詳細信息。系統監控功能提供來自資產的持續反饋,確保最佳性能和準確性,以及安心。STOELTING Triton IV MIL代表晶圓處理系統的巔峰，提供卓越的性能、靈活性、準確性和數據管理能力。由於能夠處理任何類型的晶圓，這種綜合模型對於任何先進的半導體制造操作都是一種非常寶貴的工具。
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