二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV MIL #9374717 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MIL是為先進材料研究應用而設計的最先進的其他晶圓加工設備。該系統是先進的化學機械平面化單元（CMP）。CMP技術用於通過化學和機械過程從晶片表面去除材料。TREK Triton IV MIL機采用獨特的雙級頭設計，包括漿液分散頭和旋轉拋光頭。泥漿分散頭是一種洗滌裝置，用於將化學溶液分散到晶圓表面上。旋轉拋光頭用於機械拋光晶片表面。這種雙級磁頭設計使WESTEK Triton IV MIL能夠比其他CMP系統以更高的精度和效率工作。STOELTING Triton IV MIL具有廣泛的晶圓尺寸，可以處理。其晶圓夾緊機構最多可支撐300 mm晶圓。該工具具有高度可擴展性，可容納從小型單室系統到大型多室系統的各種腔室尺寸。Triton IV MIL具有自動機器人裝載機，使晶片能夠快速高效地裝入資產。它還具有晶片表面條件和侵蝕傳感器，可以在CMP過程中連續監測晶片表面。傳感器能夠檢測到表面狀況的任何變化,從而使模型能夠對CMP過程進行實時調整。STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MIL配備了先進的控制設備，提供全面的診斷和故障排除功能。該系統具有廣泛的輸出功能，允許用戶輕松分析流程數據，從晶圓特征日誌文件到晶圓屬性，再到趨勢數據。TREK Triton IV MIL是一種堅固可靠的設備,具有廣泛的特性和功能。它是先進材料研究應用的理想單元，提供市場上其他CMP系統無法找到的精確度和準確性。Triton IV是尋求高效的其它晶圓處理解決方案的用戶的絕佳選擇。