二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV #9008264 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV是為晶圓製造而設計的高品質、工業級的製程設備。該系統是一個完全自動化、模塊化和靈活的解決方案,可滿足當今半導體晶圓處理需求。TREK Triton IV可用於化學機械平面化（CMP）、化學氣相沈積（CVD）、擴散、蝕刻、離子植入、光刻、腌制、計量、等離子體/真空沈積、自旋電介質、晶圓探查。此外，這一單元被設計為在高達潔凈室1級的環境中運行，使其適合苛刻的流程。WESTEK Triton IV具有強大的集成控制機器，允許用戶使用直觀的圖形用戶界面對工具進行編程和監控。控制資產建立在開放標準的基礎上，適合與各種各樣的軟件包一起使用。集成控制模型提供了一個全面的、分步的流程控制和主動管理的流程跟蹤。這樣可以確保在整個過程中準確維護流程參數,從而獲得高度可靠和可重復的結果。該設備還提供最多五個可編程的設定點，允許用戶定義化學和物理過程條件，以優化過程結果。STOELTING Triton IV提供了一系列環境和系統監控功能。這包括溫度控制環境,可根據所使用配方的類型調整可選擇的設置點。該單元還利用實時流程監測，具有集成氣體傳感功能，允許用戶定制流程條件以匹配所使用的應用程序。此外，Triton IV還包含多個安全功能，包括警報系統和手動覆蓋，以確保用戶在發生意外過程事件時的安全。這臺機器的設計可容納範圍廣泛的晶圓尺寸，從200毫米到300毫米不等。它配有一個內部真空歧管用於全晶片處理，或最多12個單獨的過程模塊用於分裂晶片處理。該工具還與大多數標準工藝室兼容，包括負載鎖、預對齊器和後對齊器。最後,STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV提供了一系列服務和支持包,確保用戶在安裝、操作、維護和維修方面獲得所需的技術幫助。