二手 STOELTING / TREK / WESTEK Westkleen Formula 2RS3 #197438 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Westkleen Formula 2RS3，常被稱為WestKleen是TREK設計的晶圓加工設備，TREK是一個高精度和可靠晶圓加工設備的制造商。WestKleen旨在在晶圓處理環境中使用時提供最大性能。該系統采用先進的光學檢測技術和固定位置的送料批次清洗工藝，在一個周期內徹底清潔晶片。完整的兩步過程使設備能夠清潔日益復雜的半導體表面結構。前端操作員控制模塊為操作和監控機器提供了用戶友好的圖形用戶界面，使編程變得簡單高效。WestKleen的固定位置送料批次清洗過程通過提供對化學分配和沖洗系統的精確控制，確保了可靠、可重復的晶片清洗結果，無論晶片幾何形狀如何。化學分配工具由兩個精密計量泵、兩個精密噴槍和一個炮塔噴嘴組成，在清潔過程中提供精確的化學註入。兩個獨立的高壓沖洗系統提供溶劑輸送和沖洗能力。資產還具有一個專有的光學檢測模型，可以連續測量每個晶片的清潔狀態。該設備確定每個晶片的清潔時間,並可以提醒操作員,即使在執行了額外的化學分配或沖洗循環之後,任何晶片仍不幹凈。WestKleen也有高速晶圓傳輸系統。它容納了八個管狀晶圓傳輸帶，這些傳輸帶高速攜帶多個晶圓到每個站。運輸裝置設計為以高達800個條件/小時的速度運行，每晶圓的總運輸時間少於5秒。WestKleen還配備了先進的安全機器，其中包括檢測任何異物的傳感器，並提供三級安全保護。除非關閉所有保護蓋並激活所有安全傳感器,否則無法操作該工具。TREK Westkleen Formula 2RS3是一種革命性的晶圓加工資產，提供可靠、可重復和精確的清洗過程。它旨在為晶圓處理應用提供最大的性能和安全性。