二手 SWAGELOK SWS M100-1 #9076772 待售

SWAGELOK SWS M100-1是一種精密自動化晶片處理設備,旨在高效處理200 mm以下的晶片。SWS M100-1占地面積僅為102 x 52 cm,總重量為31 kg,可輕松配置為適合現有的清潔空間布局,並集成到自動化生產系統中。該系統具有三個2D機器人撥片和放置頭,允許每個組件的獨立操作,包括晶圓傳輸、盒式磁帶安裝、晶圓居中和檢查。此外，設備還配備了先進的工藝控制器，可以獨立調整各種工藝參數，以滿足特定的晶圓性能要求。光電傳感器用於檢測何時接收晶片或將其放置在目標上，而兩個集成的紅外內置傳感器檢測是否存在用於安裝的盒式磁帶或用於拆卸或放置的晶片。卡帶或晶片的檢測觸發適當的機器人頭部進行一個過程步驟，允許各種操作之間的無縫過渡。SWAGELOK SWS M100-1具有可變速度傳輸,允許0.5至30米/分鐘的速度,具體取決於周期時間和生產需求。機器人手臂的最大加速度為6m/s ²。此外，機器的吞吐量高達70晶圓/分鐘。SWS M100-1結合了成熟的機械部件以及先進的運動和視覺控制系統,旨在確保晶圓處理的順暢和準確。機械臂配置有特殊的導軌工具，以確保精確移動，視覺資產配備廣角高分辨率攝像頭，以確保最佳對準和晶圓居中。此外，傳感器采用IP67級密封，可防止灰塵和水的損壞。易於操作的工程面板支持的易於使用的軟件為操作員提供了一個用戶友好的界面來設置參數以及監視模型狀態。該設備還配備了自動診斷系統，旨在方便識別和解決潛在問題。SWAGELOK SWS M100-1的設計考慮了安全性,包括各種有助於保護操作員和環境安全的功能,包括針對設備錯誤的可聽和可視警報、機械部件的自我診斷、按鈕緊急停止功能以及用於快速手動操作的電子停止按鈕。綜上所述，SWS M100-1是一種先進的自動化晶片加工機，有助於對200 mm以下的晶片進行高效處理。該精密工具具有堅固的機械和電子設計,經過優化,可用於各種生產環境,以實現精確可靠的晶圓處理。