二手 TAESUNG TSG-SE-250 #9233640 待售

TAESUNG TSG-SE-250是為加工晶圓而設計的最先進的設備。該系統采用OPC（開放平臺控制）等高級流程分析方法,對流程輸入和輸出進行跟蹤和分析。TSG-SE-250臺機器具有預先配置的模塊化布局,可容納來自同一平臺的最多五個同步加工工具,這意味著它可以同時處理相同的復雜晶圓制造過程。TAESUNG TSG-SE-250的設計具有多種安全和工藝特點。氣動閘門工具確保每個腔室在晶圓加工過程中保持在安全的大氣壓，並限制汙染。此外，該資產還配備了一個精確的警報模型，當任何艙室由於大氣壓力不當而有損壞的危險時向用戶發出警報。TSG-SE-250在加熱和冷卻方面也很高效。設備配有兩臺高效冷卻器，在整個過程持續時間內保持恒溫。這樣可以確保整個工藝鏈得到良好維護,並促進整個系統中的熱傳遞。此外，該機組還配備了精確校準的氮氣流動機，提供了優化的冷卻和加熱循環，同時確保了針對電極損壞和溫度梯度的最佳熱防護。TAESUNG TSG-SE-250的核心是OPC工具，它與集成過程監控資產協同工作，對所有過程條件進行實時分析。完整的模型通過以太網連接連接到OPC服務器，允許方便的數據記錄和快速的反饋進行分析。設備使用嵌入式工業級傳感器在整個晶圓處理過程中測量壓力、電流和溫度。這有助於確保安全、精確地執行所有過程,從而提高產量和產品質量。總之，TSG-SE-250是一個先進的系統，旨在處理晶片的精度和安全性。配備集成監控單元、高效制冷機、精準報警機、OPC工具，這一資產能夠提供最高性能、高收益、高品質的產品輸出。有了這些特點，TAESUNG TSG-SE-250是任何晶圓晶圓廠工藝的理想選擇。