二手 TAKANG VMC 760 #149977 待售

製造商
TAKANG
模型
VMC 760
ID: 149977
Vertical machining center Fanuc O M control Not currently operational.
TAKANG VMC 760是一種多功能晶片處理設備,旨在幫助方便生產優質晶片。該系統能夠在一臺機器中執行各種操作,包括旋轉塗層、浸漬、蝕刻、光刻和旋轉幹燥。此外,VMC 760還包括一個機械臂,可用於在過程的各個階段之間以及特定於手頭操作的各個工具之間自動傳輸晶片。由於機械臂的自動化性質,TAKANG VMC 760可以快速準確地控制高達200毫米(8英寸)晶圓的運動,可用於多種操作。此外,VMC 760還配備了強大的蝕刻單元,配有兩個巨型蝕刻系統,實現了III型或IV型抗蝕層的蝕刻。TAKANG VMC 760還附帶模擬軟件,幫助用戶準確調整和調整壓力、濃度、流量等參數,確保最高質量的結果。機器還配有光電子,用於監測蝕刻過程中晶圓的溫度和速度,有助於確保每次結果一致。此外,還有一個多層對齊器,用於確保最多12層晶圓的正確對齊,這意味著晶圓無論復雜程度如何,都可以正確處理。在蝕刻過程之外,VMC 760允許用戶執行旋轉塗層、光刻和旋轉幹燥。旋轉塗層工藝使用精密潤滑噴嘴將一層薄薄的材料塗在晶片上,之後將晶片轉動到精確的速度,使材料均勻分布。類似地,光刻選項被用於利用紫外線、氧化膜和其他材料在晶片表面上創建精細的特征。最後,自旋幹燥過程除去晶片上存在的各種操作完成後的水分。總之,TAKANG VMC 760是一款功能強大的晶圓處理工具,配有機械臂、仿真軟件、光電、多層對齊器。這些功能使得這臺機器非常適合生產優質晶片,減少生產時間,有助於確保每次結果一致。
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