二手 ULTECH Ultrsonic #9153462 待售
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ID: 9153462
LED Equipment cleaning system
Includes
(3) Ultrasonic generators
(1) Control module
(3) Regulators
(1) Pressure gauge
(3) Selenoid valves
(1) PLC.
ULTECH超聲波晶片處理系統用於制備和清潔半導體制造晶片。這些系統提供了一種可靠和可重復的方法,用於去除晶圓表面的殘留物,並用於制備用於粘合目的的表面飾面。ULTECH Ultrasonic晶圓處理系統的基本設計由聲音換能器、儲罐和控制器組成。聲音傳感器設計用於產生和傳輸超聲波,從而提供分解和清除晶圓表面汙染物所需的能量。罐內裝有清潔液,通常是水,並加入特殊化學物質以降低靜電水平。控制器單元被編程為控制聲波的頻率、振幅和持續時間,這些聲波將用來傳遞清潔所需的能量。ULTECH工藝產生的超聲波在去除微生物、無機和有機汙染物方面非常有效。波浪傳播到晶圓表面,並引起空化效應,使表面的汙染物松散。水箱中清潔劑的攪拌進一步加強了清潔過程,有助於分解汙染物並使其遠離表面。除去汙染物後,晶圓的表面光潔度也可以控制。這是通過調整換能器產生的聲波的頻率、幅度和持續時間來完成的。通過使用較低頻率的波,可以實現精細、均勻的光潔度。這種光潔度用於便於包裝設備的粘合,是可靠的回磨工藝所必需的。ULTECH超聲波晶圓處理系統被用於廣泛的行業,包括航空航天、汽車和醫療,以及半導體器件的制造。該系統易於使用,為晶片表面的制備和清潔提供了一種經濟高效、可重復和可靠的方法。
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