二手 VIRTIS Virsonic 100 #9082486 待售

VIRTIS Virsonic 100是一款革命性的晶圓工藝設備，旨在最大限度地提高晶圓後處理環境的效率。該系統旨在在一次運行中自動處理相同大小和厚度的多個晶片。它具有直觀的用戶界面,並具有全自動工作流單元,可最大程度地減少用戶幹預,同時最大限度地提高吞吐量。Virsonic 100由四個主要組件組成：樣品旋轉木馬、晶圓托盤、加熱室和冷卻機。樣品旋轉木馬將晶片固定在適當的位置並允許它們同時處理。晶片托盤在處理時牢固地固定晶片。加熱室能夠達到高達500 °C的溫度，並提供均勻加熱以進行精確的過程控制。冷卻工具可以降低晶片的溫度，以確保整個過程的均勻性。VIRTIS Virsonic 100具有高度模塊化,可以根據用戶需求進行定制。它提供了可配置的工藝步驟，如清潔和幹燥、化學氣相沈積、物理氣相沈積和蝕刻。這允許用戶根據其特定晶圓工藝要求自定義資產。該型號還配備了傳感器，用於監控溫度、壓力和流量的實時信息，以便在過程的每個步驟中進行精確控制。Virsonic 100是廣泛行業的理想晶圓加工設備。它提供了出色的可重復性和高吞吐量。其可配置的流程步驟提供了最大的通用性,使用戶能夠為其特定應用程序實現所需的結果。直觀的用戶界面和實時反饋為用戶提供了對流程參數的完全控制，使他們能夠最大限度地提高產量和效率。