二手 VIRTIS Virsonic 50 #9374832 待售

VIRTIS Virsonic 50是為半導體行業的高通量應用而設計的先進晶圓處理設備。它具有模塊化的系統設計，可以處理200毫米至300毫米不等的晶圓尺寸。它具有許多特點，使其適合多種工藝，如過度蝕刻、圖樣制作和化學機械平面化（CMP）。Virsonic 50的高吞吐量,加上它的過程靈活性,使得它在需要高度精確度和可重復性的過程中特別有用。該單元包括一個全自動的裝卸站，即使在使用多個晶片時也允許不間斷的處理。晶片卡帶和基於龍門的裝卸系統確保晶片始終小心處理。VIRTIS Virsonic 50機器包含四個工藝/蝕刻室，每個室都有自己的可編程工藝參數。每個腔室都有一個特定的功能，從等離子體蝕刻到濕蝕刻，可以編程為在任意組合中執行多個參數。該工具還包括一個中央流程控制器，允許用戶使用圖形用戶界面輕松、高效地監控和調整流程參數。資產還包括一個全自動晶圓探測站，使用戶能夠自動檢測邊緣問題、過程缺陷和肉眼不易看到的其他晶圓問題。這樣可以確保晶片以最佳的精度得到一致的處理。該模型還具有可選的氮化物技術，可用於增加選擇性蝕刻時間以及增強蝕刻工藝的均勻性。Virsonic 50專為實現最大的靈活性和生產力而設計。它可靠耐用,並且需要最低限度的維護才能使其保持最佳運行水平。它的模塊化設計提供了一定程度的可擴展性，使其適合各種晶圓處理應用。它與機器人晶片處理的集成使得它成為高吞吐量應用的絕佳選擇,確保每一個晶片都能在最小的人工幹預下按照精確的規格進行處理。