二手 VWR 750 D #9082479 待售

VWR 750 D是一種最先進的晶圓加工設備，旨在滿足半導體制造和研發（R&D）應用的需要。該系統可用於半導體生產生命周期的所有階段，包括晶圓變薄、背磨、表面制備、化學機械平面化（CMP）和包裝。750 D允許在前沿半導體元件的生產和開發過程中精確高效。該單元具有全方位的溫度和壓力性能選項,允許精確的過程調整和改進的過程控制。該機具有完整的CMP工作站，能夠進行高級蝕刻加工以及金屬沈積加工和拋光。自動化的溫度控制工藝室允許精確的控制和可重復的工藝，以優化產量和減少周期時間。VWR 750 D包括廣泛的預編程配方和批處理配置配置文件,從而實現了增強的流程設置和調度。該機器還提供自動晶圓升降機、輸送機和搬運技術，以及晶圓尺寸的多個選項。該機器具有直觀的用戶界面，便於配置所有機器參數，並且可以編程為從多種來源運行。750 D采用了綜合監測工具。這包括嵌入式流程監控資產,該資產具有一套在線流程分析工具。這些診斷工具可以快速識別和解決任何流程問題。此外,該模型還包括一套狀態監視工具,可提供詳細的設備統計信息、最新的流程信息和完整的可追蹤性。晶圓加工系統的設計考慮了安全性和清潔性。密封裝置可防止潛在有害物質進入加工室的汙染。此外，該機器符合所有適用的安全規定，包括有毒氣體排放標準。為提供穩定可靠的運行，VWR 750 D配備精密伺服驅動步進電機，以及隔振、低噪聲減振設計。該工具還具有頂級機器人機制和自動化組件,可提高資產效率和準確性。750 D是一種高能力的晶圓處理模型，適用於半導體研究和生產應用。該設備的各種精密工藝控制選項、自動升降機和輸送機系統、直觀的用戶界面以及全面的監控系統使其成為滿足半導體生產和研究需求的理想解決方案。