二手 XEI SCIENTIFIC Evactron 10 #293591322 待售

來自XEI SCIENTIFIC的XEI Scientific Esactron 10是一種用於精密和通用IC制造的尖端等離子體輔助晶圓蝕刻設備。其設計可提供高通量、高表面光潔度的均勻蝕刻和沈積。Evactron 10特別擅長制作優越的蝕刻輪廓,能夠在不進行直通蝕刻的情況下進行高長寬比蝕刻。使用一系列先進的蝕刻技術, 包括直接等離子體、電化學和磁控管濺射,XEI SCIENTIFIC Esactron 10允許精確控制基板溫度和氣體流動, 以及允許用戶通過使用各種可用的蝕刻介質來定制蝕刻配方以最適合他們的過程。與傳統的蝕刻室相比，Evactron 10能夠一次批處理多達20個晶片，大大提高了吞吐量並縮短了循環時間。除了提供卓越的蝕刻品質外，XEI SCIENTIFIC Esacuttron 10還包括一系列針對Prime IC制造優化的附加功能。其中包括功能強大的計算機控制自動化系統，用於優化蝕刻過程，以及易於設置配方以確保可重復性。這種自動化系統允許實時遠程監控過程，並自動調整參數，使蝕刻條件保持在所需的範圍內。先進的高真空真空技術允許在極低真空條件下，以及在超高阿西莫夫或超高熱處理環境中對晶片進行處理。Evactron 10的高級診斷和控制系統還允許進行過程故障排除和優化。高級檢測單元支持有效的過程控制,可提供有關過程條件的全面反饋,確保以最小的停機時間實現所需的過程結果。先進的診斷和控制系統有助於澄清與流程相關缺陷的根本原因，並為用戶提供他們自信地最大限度地利用流程窗口所需的工具和信息。XEI SCIENTIFIC Evactron 10是一款先進的晶圓蝕刻機，設計高效生產，質量高。通過使用先進的自動化、強大的計算機控制系統以及先進的診斷和控制,Evactron 10確保了可重復、高質量的結果和卓越的過程控制。