二手 ASM COE 139HD+IBE 139HD #9396108 待售
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ASM COE 139HD+IBE 139HD是為自動化制造和組裝操作而設計的先進烤箱/爐。它是一種高溫,具有CVD -/PCVD功能的烤箱/爐子,能夠承受高達1475 °C的溫度。該單元包括多區域溫度控制、可變加熱速率、可選氧氣傳感器、精密溫度監測器等幾個功能。其增強的過程控制能力意味著烤箱產生一致的結果,最小的風險災難性沈積故障。爐子由鋁制鋼櫃和陶瓷絕緣襯裏制成。機組內部工作區分為20個區域,可獨立加熱。該爐包括一個優化的熱消聲器系統,該系統確保了均勻的溫度分布和整個烤箱的均勻熱分布。該系統有助於最小化溫度變化和湍流,使爐子更加可靠和可重復。此外,還可以調整RF-Generator以允許一系列電源設置,從而使該過程能夠針對不同的應用進行定制。烤箱還配備了幾種防護系統,包括火焰探測器、溫度過高防護,以及在緊急情況下自動停電。它還具有一個創新的流程監測系統,該系統記錄流程數據以供進一步分析,並可用於優化流程。該設備還包括一個直觀的圖形用戶界面,使操作員能夠精確地控制和監視過程。總體而言,ASM COE 139 HD+IBE 139HD是實現高溫過程自動化的絕佳選擇。憑借其優化的設計、精確的監控和用戶友好的界面,它是一個極其可靠的工具,能夠提供精確和可重復的結果。它是控制從芯片制造到光學薄膜沈積等多種工藝的理想選擇。
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