二手 REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400 #9050538 待售

REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400是一種半導體氧化爐，用於制造薄介電層如二氧化矽、氮化矽等。它能夠達到800°C至1400°C的最高溫度,並具有均勻性和準確性。采用雙頻感應加熱，為優化加工溫度提供了選擇的靈活性。爐子內的氧化氣氛采用氮氣和氧氣的組合配置，如果需要，可提供高達100%的氮氣。可以調整此環境以適應用戶的特定流程要求,從而實現高效且可重復的處理。該機組配備了全面的溫度控制範圍，確保了精確的溫度和均勻、可重復的結果。其中包括一個完全由計算機控制的數據記錄設備，其中包含最多4個用於存儲數據的配置文件程序、自動超溫保護系統和手動過熱保護設施。此外，該爐允許獨立的烤箱控制不同的截面為晶圓的分級溫度分析。集成的6級過濾器單元確保爐內大氣無微粒，微處理器控制的氣壓監測機允許對大氣進行動態控制。爐子的織物額定厚度為0.5英寸，以防止熱量流失，並在爐子內部保持一致的溫度，即使在高溫操作下也是如此。爐子由重級不銹鋼建造而成，既耐用又耐腐蝕，是眾多工業用途的理想之選。爐內使用的惰性氣體通過工藝氣體開關（PGS）供給腔室。該爐還包括一個氣壓監測儀，以確保達到所需的增壓。爐子的控制模塊裝有8.4英寸觸摸屏液晶顯示屏，允許用戶設置和跟蹤程序，控制溫度、壓力、氣體混合等參數，以及監控過程進度。USB端口也適用於數據備份、工具診斷和軟件更新。可以使用以太網或RS232/RS485/USB接口遠程控制安裝。總體而言，REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400是一種先進的高精度爐，適用於半導體晶片的氧化擴散。其靈活的設計、綜合的控制資產、準確的溫度監測能力，使其成為一整套行業的重要工具。