二手 TERA SEMICON TERA300CA #9241992 待售

TERA SEMICON TERA300CA
ID: 9241992
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Diffusion furnace, 12" 2011 vintage.
TERA SEMICON TERA300CA是鉆石行業和其他先進半導體市場中用於退火和回流加工的一種經現場驗證的封閉性輸送機爐。TERA300CA是一種非常高效、快速退火爐,具有優異的溫度均勻性和極好的現場性能,滿足最苛刻的工藝要求。TERA SEMICON TERA300CA利用雙輸送機設計來確保晶圓的同時並行處理和最佳的吞吐能力。雙輸送機的並行過程減少了循環時間,縮短了裝置循環時間達40%。該設備能夠在同一爐中處理多達90%的核準晶片,以始終如一地產生高產。TERA300CA還提供了卓越的溫度均勻性和控制性,精度為+/-5°C。整個輻射熱系統采用四個獨立控制的環形加熱器,其形式為五個帶級聯加熱器控制的同心圓形加熱器環。這些控制可以調整為最高效率和精確的溫度控制。TERA SEMICON TERA300CA還配備了高精度石英壓力傳感器,能夠控制± 0.0008毫巴的氣流。TERA300CA還具有一個自我診斷單元,它可以檢測機器的不規則性,並提醒操作員采取糾正措施。此自我診斷工具可確保TERA SEMICON TERA300CA隨時間推移的最高效率和優異性能。為了保持最佳工作溫度,TERA300CA還包括溫度平衡資產和熱電偶,用於測量實際溫度和設定溫度。這樣可以確保爐子裏的產品達到最高質量標準。TERA SEMICON TERA300CA專為便於安裝和維護而設計,可通過可選升級進行定制以滿足客戶需求。爐子安裝方便,需要最低限度的維護和維修。客戶可以選擇大量的集成工具和測試軟件來調整和校準模型。TERA300CA還配備了安全功能,例如熱關閉開關,可確保設備發生故障時的安全。爐子的外蓋采用雙層,防止散熱,用戶可以選擇可選的隔熱板,進一步保護用戶和設備免受高溫影響。TERA SEMICON TERA300CA是一種行業認可、高效可靠的半導體和金剛石退火爐/爐。輸送機獨特的設計,出色的溫度控制,有限的維護和綜合的安全特性,使TERA300CA成為各種工藝的可靠和經濟實惠的退火爐。
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