二手 VISION SEMICON VS-02CM #9278719 待售

VISION SEMICON VS-02CM是一種用於半導體制造過程中高溫應用的烤箱/爐。它設計緊湊,易於安裝在標準尺寸的工具櫃或工作站中。這種烤箱/爐用途廣泛，能夠用於真空過程、快速熱處理和擴散處理。VS-02CM有一個專利平面加熱器，由鉬二矽化物，與Nomex絕緣可靠和一致的性能。它提供25°C至1200°C的連續工作溫度範圍，加熱速率高達150°C/min，視所需的目標溫度而定。VISION SEMICON VS-02CM還采用了熱墻設計,用於整個腔室的均勻加熱模式。集成石英管提供在加工過程中所需的氮氣、氫氣、氧氣或其他氣體的計算體積流。微處理器控制器允許用戶對溫度和氣體流量設置進行編程。立方反應室可實現最佳的溫度均勻性和控制,傳感器提供由控制器監控的反饋,以便調整和保持所需的溫度曲線。VS-02CM的設計中集成了各種安全功能,包括在用戶過熱時發出警報的電源警報、過熱保護的可調限值,以及用於檢測烤箱/爐子操作中錯誤和異常的多個傳感器。此外,設備的標準鎖定前面板可防止用戶未經許可訪問設備。易於編程、有效、可靠的VISION SEMICON VS-02CM烤箱/爐在半導體制造過程中提供卓越的熱過程控制。憑借其節省空間的設計、Hot Wall技術以及集成的石英管輸送，VS-02CM是任何希望提高性能的半導體晶圓加工設施的必備設備。