二手 VISION SEMICON VSP-88H #9122513 待售
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ID: 9122513
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
Plasma cleaners, 8"
Vacuum pump: 1560L/min oil rotary pump with 300ß©/h booster
Gas flow controller: Mass flow controller
Internal chamber dimension: W 580mm x H530mm x D580mm
Electrical power: 200 VAC, 3 Phase, 30A
Loading capacity: (8) Magazines
PC Based main control: Windows XP & C++ Language
TFT LCD Touch screen
Power source: RF Generator, 13.56MHz, 600W
2005 vintage.
VISION SEMICON VSP-88H是一種用於半導體制造行業的烤箱/爐。它是一種多功能、堅固的設備,具有出色的溫度均勻性和可重復性。其溫度範圍高達1200 °C,可調坡度速率高達60°C/min編程,還可以提供高溫快速恢復時間。VSP-88H具有可編程的自動化控制設備,專為過程控制、質量保證、智能數據制表和數據記錄而設計。通過使用先進的PID補償系統來保持溫度的均勻性和可重復性。它還配備了用於跟蹤和管理實驗的高級軟件。VISION SEMICON VSP-88H烤箱/爐的設計特點包括Delta T技術,該技術由圍繞烤箱室的一系列堅固、剛性的磚組成,可以進行精確的熱控制。為安全起見,它還有一個全身保溫單元和一個帶有互鎖機的低泄漏密封門。此外,VSP-88H還有一個深冷工具,可以快速冷卻腔室。這樣可以防止熱區達到極高溫度時發生熱沖擊。它還擁有先進的計時器資產、真空密封模型以及用於繪制計算機曲線的計算機化設備。VISION SEMICON VSP-88H的設計還采用了全波註入系統,用於精確、均勻的加熱控制,非常適合要求高溫均勻性和可重復性的應用。烤箱有一個自動安全裝置,在達到有害溫度時關閉電源,還有一個手動安全機器,如果溫度升高到預先設定的水平以上,用戶可以控制工具並手動將其關閉。總之,VSP-88H是為半導體制造工業設計的烤箱/爐。其先進的溫度均勻性和可重復性,以及通用的自動化控制資產,可在各種應用程序中高效可靠地使用。VISION SEMICON憑借其先進的定時模型、深冷設備、真空密封系統和計算機化繪圖單元,VSP-88H具備確保一致結果所需的所有功能。
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