二手 VISION SEMICON VSP-88H #9189032 待售

VISION SEMICON VSP-88H
ID: 9189032
Plasma cleaner.
VISION SEMICON VSP-88H是專門為半導體材料熱處理而設計的先進、高質量的烤箱/爐。它能夠提供多種不同的加熱過程,在溫度控制方面具有優異的加熱均勻性和準確性。VSP-88H配有現代加熱元件,提供可靠高效的熱能和良好的熱穩定性。為了保證高熱均勻性和準確性,VISION SEMICON VSP-88H采用了一種精密的溫度控制設備,該設備采用了高精度PID(正比積分導數)比例積分導數)溫度控制算法,具有很高的響應時間。這樣可以確保溫度在極高的精度範圍內,在很長的時間內,以極高的溫度穩定性來控制和管理。溫度的設定和控制範圍從室溫到1000°C不等。VSP-88H設計可提供最大的系統正常運行時間,並具有先進的加熱元件和均勻的加熱表面,可確保工藝室無熱應力。它還有一個空氣噴射裝置,使用專門設計的噴嘴在高溫下吸入空氣。這有助於最大限度地減少熱擴散,最大限度地減少對基板的損害,這也有助於提高產量和產品質量。VISION SEMICON VSP-88H還配備了包括溫度控制關閉和過溫保護工具在內的綜合安全機器。此資產的控制器在發生危險溫度升高時監視和關閉烤箱。該型號還包括一個內置的互鎖設備,當溫度超過一定值時會切斷進入加熱室的通道。此外,VSP-88H還兼容一系列MFC(質量流量控制器)和熱電偶,還可以連接到外圍系統和過程監測系統,對熱過程進行實時監測。烤箱也非常適合半導體應用,可用於氧化、反應、擴散和退火等多種過程。最後,VISION SEMICON VSP-88H是一種先進的高性能烤箱/爐,具有良好的加熱均勻性和溫度控制精度。其工藝範圍和安全特性使其成為半導體材料熱處理的理想選擇。
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