二手 VISION SEMICON VSP-88H #9290575 待售

VISION SEMICON VSP-88H是為高級物理氣相沈積（PVD）工藝而設計的高溫濺射沈積爐。它是一種先進的熔爐，溫度可高達1000 °C，能夠沈積材料薄膜。VSP-88H非常適合於金、銀、銅和其他貴金屬的薄膜沈積，以及用於半導體工業中許多應用的多種材料的沈積。該VSP-88采用圓柱形不銹鋼外殼和實心不銹鋼工作室，采用電弧焊接技術進行均勻加熱。它配備了一個電動起重平臺，可容納直徑最大8英寸的目標，最大目標重量為13磅。該爐還設有一個自動控制器，用於精確控制腔室溫度。VISION SEMICON VSP-88H以其加熱的基板，也適合在升降平臺上加熱和控制直徑達10英寸的基板。這種受控環境允許高度、傾斜度和旋轉調整,以實現精確的目標與基板對齊。該VSP-88具有直觀的觸摸屏界面,可控制溫度範圍、濺射功率、氣體流量、基板拼圖、濺射過程時間和其他過程參數。控制器還配備了過溫和低溫警報的報警功能，以及內置的熱安全聯鎖裝置，以防範危險情況。烤箱裝有隔膜真空泵，能夠將壓力水平保持在5 x 10-3 Torr以下，可從控制臺調節。此外,它還配備了高頻浮動電源,使金、銀和銅能夠通過均勻、高質量的薄膜濺射到基板上。總體而言，VSP-88H是一種技術先進的高溫濺射沈積爐，旨在為各種材料基板上的薄膜提供可靠和一致的沈積。它具有廣泛的溫度範圍和先進的控制特性，是實現可重復、精確的薄膜PVD工藝的有效工具。