二手 ATK EET-CD2017 #293616526 待售

ATK EET-CD2017是為薄膜沈積和封裝應用而設計的電子束蒸發設備.該裝置采用兩步電子炮室，可實現最佳熱控制和均勻沈積。擁有種類繁多的可用基板支架，適用於多種類型的基板，包括平坦和彎曲的基板、纖維和纖維束、膠帶和薄膜納米線，以及其他特別設計的基板。該裝置包括一個密封環境的沈積室，確保可重復的工藝條件。集成的主百葉窗提供快速、精確的電子槍關閉，防止基板過早暴露。先進的真空泵送系統和排氣裝置確保低汙染水平和無顆粒性能。集成質量流控制器允許對原料劑量進行精確控制，這對薄膜材料尤為重要。此外，該裝置還配有冷卻機和預級溫度控制工具，為源材料對熱敏感提供了最佳的熱條件。前期溫控資產允許樣品冷卻和電子槍加熱，有助於消除熱沖擊。EET-CD2017由獨特的可編程邏輯控制器（PLC）組成，提供廣泛靈活的控制參數。這包括精密速度、溫度和壓力控制、先進的進給率控制、過程跟蹤、監測排放/能量控制和自我參照等功能。此外，該設備還配備了最先進的安全模型，其中包括緊急通風設備和激光報警器。高級控制器采用圖形用戶界面,操作方便.控制器還有一個專門的腳本語言，用於創建過程配方，允許精確的沈積時間，溫度和進給速率控制。為了極致安全起見，該系統附有CE標簽，設計符合所有相關規定。綜上所述，ATK EET-CD2017具有優異的性能、靈活性和安全性，適用於各種先進的薄膜沈積工藝。