二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9295095 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供晶圓表面和中級特征的精確測量。該系統提供多種功能和規格,以幫助確保實驗室使用和大批量生產的準確性和效率。Surfscan 6420單元配備了利用縫合創造晶圓完整圖像的亮場顯微鏡，提供了更全面的表面視圖。顯微鏡捕獲的圖像分辨率高達1,000,000像素,景深高達1200 µm。它是一臺先進的成像機器，具有聚焦離子束成像（FIB）的高級光學分析，能夠快速準確地進行測量。該工具還能夠通過用於圖像分析和缺陷檢查的軟件套件進行數據分析和缺陷審查。使用該軟件,用戶可以訪問多個數據文件並執行包括自動分類、報告生成和缺陷特征統計報告在內的分析。Surfscan資產還包括一個3 D表面計量模塊,可提供納米表面地形特征的高精度測量。它利用激光幹涉測量來精確測量各種基板上的表面高度。該模型還能夠測量叠加、臨界尺寸（CD）、晶圓平面度和輪廓高度圖。此外,該設備還包括交互式用戶界面、地圖顯示、自動提交作業、數據比較、超出規格檢測和基於算法的缺陷分類器等全套硬件和軟件功能,以提高準確性。這些功能為半導體和電子行業的客戶提供了高效、準確的生產線分析。KLA 6420 Surfscan提供了多種功能、可靠的準確性和直觀的用戶界面,可幫助實驗室和生產線進行深度晶圓表面分析。Surfscan具有先進的成像系統、可靠的計量功能和全面的軟件功能,是晶圓測試和計量的可靠而有力的選擇。