二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #196337 待售

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ID: 196337
優質的: 1992
Particle counter, 6"-8" Defect analysis: 0.1 µm 1992 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一個功能強大的晶圓測試和計量系統。該系統提供極其精確的高速測量,使半導體工藝工程師能夠快速識別缺陷,完善其工藝,提高產量。KLA 6200 Surfscan使用非接觸式計量來測量從平均值到微量尺度水平的平坦度和粗糙度。它使用雙軸相移幹涉測量法產生高分辨率、非接觸式地形成像,以納米x、y、z分辨率提供全面的3D表面地形。TENCOR 6200 Surfscan提供高精度和重復性,使工程師能夠更快、更準確地識別缺陷。它還提供高速測量,使工藝工程師每小時可進行多達一千次的檢查,準確度小於1nm。6200 Surfscan還提供了廣泛的檢查功能,如自動采樣、縫合和自動真空卡盤控制。這些功能使工程師能夠快速檢查數據並以高精度和準確性檢查樣品。PROMETRIX 6200 Surfscan采用智能成像算法、高速激光掃描儀、晶圓處理機器人等最新技術設計。這些功能使工程師能夠以更少的停機時間實現更高的吞吐量。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種高度通用的工具,能夠測量幾乎任何大小和形狀的晶片。系統可以掃描從幾微米到幾英寸的樣本量。它還具有一次測量多個晶片的能力,使工程師能夠快速輕松地比較多個樣本之間的數據。總體而言,KLA 6200 Surfscan是用於晶圓測試和計量的功能強大且用途廣泛的工具。憑借其雙軸相移幹涉測量技術和高速測量能力,它為半導體工藝工程師提供了全面、高精度的數據,使他們能夠快速識別和修復缺陷並提高產量。
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