二手 ADVANCED ENERGY / MKS FI80133 #293601250 待售

ID: 293601250
Remote Plasma Source (RPS).
ADVANCED ENERGY/MKS FI80133是一種技術先進的低噪聲電源,專為PECVD和濺射等薄膜沈積過程而設計。該裝置具有0-800v和0-4000A的寬電壓和電流範圍,是生產制造高質量薄膜所需的精確可靠功率的絕佳選擇。電源還具有低噪聲(3mV以下)、快速上升時間(小於500 µs)、高穩定性和精度以及可調節的脈沖和爆裂功能等多種優點。MKS FI80133具有防止電壓過低、電流過大故障和快速關閉的保護。這樣可以確保安全運行,並在使用電源時增加可靠性。高級用戶界面功能也包括在內,可通過4.3英寸彩色觸摸屏顯示器訪問。這使用戶能夠自定義特定流程的性能參數並快速監控性能。還包括一個內部PC存儲庫,用於記錄警報狀態、日期和時間,以及向電源本身生成命令。該機組具有大於0.99的高功率因數,使其成為一個特別高效的電力供應商。它還具有低電壓輸入設計,並配有快速反應、低壓功率修剪控制,最大限度地減少總諧波失真,最大限度地提高性能。此外,電源具有溫度範圍為0°C至+50°C、最大相對濕度為80%的高效冷卻系統。綜上所述,ADVANCED ENERGY FI80133是一種高度先進、可靠且高效的電源,專為薄膜沈積過程而設計。它具有多種用戶界面功能、高功率因數、快速關機保護、溫度範圍控制等功能。
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