二手 ADVANCED ENERGY RF 30S #9111631 待售

ADVANCED ENERGY RF 30S
ID: 9111631
RF Generators P/N: 3050017-013, 7520758057.
ADVANCED ENERGY RF 30S是一種電源,提供許多製造過程所需的恒定穩定的RF(射頻)功率,例如等離子體蝕刻和薄膜沈積。它被設計為可靠且在具有恒定輸出潛力的高性能應用程序中運行。ADVANCED ENERGY RF30S配備輸出電壓範圍為4至15 KV,峰值電流最高可達350​​}A,最大輸入功率為800 W,可提供許多應用所需的高功率。RF-30S電源還提供了廣泛的保護。它有一個檢測電弧和閃光的綜合設備,並有一個可選的氣體流動監測系統,以持續監測工藝室。此外,它還配備了先進的偏置控制,以提高薄膜的完整性和復雜幾何形狀的過程可重復性。電壓斜坡和用戶可選擇的軟啟動時間提供了關機後安全、漸進地返回到全峰值電流。ADVANCED ENERGY RF 30 S還配備了高級功能,對流程參數提供更多的控制和定制。可調頻率範圍為13-70 MHz,最大功率可達800 W,可編程自動調諧,可調節脈沖長度和脈沖準時,可進行短脈沖操作,以及可編程速度為0.1-6 V/µsec,用戶可以更好地控制提供給工藝室的功率。RF 30 S電源還內置了超過溫度和超過電壓的保護功能,以及便於故障檢測和故障排除的報警單元。它與基於Windows的軟件兼容,允許通過一個簡單的用戶界面完全控制機器。ADVANCED ENERGY RF-30S還具有一個大的彩色液晶顯示屏,它允許完全控制參數,並允許在需要時顯示圖形趨勢。總體而言,RF 30S是工業應用中電源的絕佳選擇。其可靠的性能、先進的功能選項和一系列安全功能使其成為許多制造工藝的理想選擇。
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