二手 LAM RESEARCH 853-015130-103 #75704 待售

LAM RESEARCH 853-015130-103是一種用於薄膜沈積技術的高性能電源。該單元設計用於高精度薄膜沈積工藝和相關的薄膜表征應用。它具有多種最佳薄膜沈積的關鍵部件,如無調節電源、有源濾波器和溫度控制模塊,以及具有高級安全特性的控制器。這種電源設計多種多樣，可用於各種工具，從真空濺射工具到電子束蒸發系統。853-015130-103的不受調節電源模塊（UPS）可以提供連續可靠的輸出功率,即使在廣泛的線路和負載條件下也能提供最小的波紋。有源濾波模塊可減少凹口畸變，從而幹擾薄膜沈積過程。溫度控制模塊通過向腔室提供恒定電壓來幫助維持所需的處理溫度。控制器單元帶有先進的安全系統，包括電壓不足保護電路、短路保護和過熱保護。此外,它還具有復雜的監控功能,可確保每個進程都能準確高效地運行。其液晶顯示屏和面板安裝的LED為操作員提供了方便地訪問各種機器和工藝狀態指示燈。LAM RESEARCH 853-015130-103電源設計用於在廣泛的應用中持續可靠的運行。它具有一定範圍的電壓輸出（0-600 V）和電流輸出（0-100A）。它還配有集成狀態警報繼電器、LED指示燈和內置超載斷路器。它旨在以最小的時間延遲提供出色的控制,從而最大限度地提高生產率。總之,853-015130-103是薄膜沈積工藝的優良電源.它具有一系列關鍵組件以實現最佳性能,並包括一系列高級安全功能。它還具有一系列電壓和電流輸出以及一個精密的監測系統，以確保準確性和效率。該電源具有可靠耐用的設計,非常適合廣泛的工業和研究應用。