二手 MKS / ASTEX FI20656-1 #293645389 待售

ID: 293645389
Remote Plasma Source (RPS) LAM P/N: 27-149580-00.
MKS/ASTEX FI20656-1是一種高性能電源,專為半導體行業的多個應用而設計,包括輻照和trans變系統。它能夠提供高達10千瓦負載的可調直流功率的400V和600A。MKS FI 20656-1獨特的設計允許在全功率範圍內精確控制電流和電壓,並具有90至260 VAC的寬輸入電壓範圍。它有一個內置的溫度控制器,根據環境溫度調整輸出電壓和電流,以提供一致的功率輸出。ASTEX FI20656-1設計有一個可靠、易於使用的控制系統,用於半導體工藝的可靠操作。它獨特的數字控制面板,配有一整套菜單和按鈕,用戶可以輕松選擇所需的電壓、電流、電源設置和其他操作參數。數字接口還提供了一系列保護功能,包括過電壓和過電流保護,以及通過前面板顯示屏上的LED指示燈監控輸出電源。FI20656-1還使用專有技術最大限度地減少輻射和傳導噪聲,防止電弧,這在大功率電源中很常見。其先進的電子元件使用EMI(電磁幹擾)抑制技術來保持低噪聲水平,使其成為在嘈雜區域操作的理想選擇。該裝置還配有保險絲保護系統,在過載時關閉電源裝置。在性能方面,MKS/ASTEX FI20656-1在全功率範圍內提供出色的功率調節和線性響應。精密負載和線路調節小於1%,溫度保護高達100%。其先進的保護和安全特點也保證了機組的安全運行和延長使用壽命。綜上所述,MKS FI20656-1是為半導體工業應用而設計的先進電源單元。它具有易於使用的數字接口、精確的負載和線路調節以及出色的噪聲抑制功能。其先進的防護和安全特性也保證了安全運行,延長了機組使用壽命。
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