二手 SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW #9351299 待售

SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW光刻設備是一種創新的工具，旨在為集成電路（IC）制造提供可靠、專業、高精度的光子蝕刻解決方案。該自動化系統配對高壓電源和軟件控制的蝕刻工具,該工具使用一系列不同的蝕刻技術在任何給定尺寸的晶片上產生均勻的介電層,在工業上具有最高的精度和可重復性。STI-15A-60V-4-AW單元采用先進的濕法加工和幹法蝕刻相結合，以確保每個應用程序都有盡可能最準確的蝕刻。首先，將化學凝集劑施加到晶片上，這有利於光致抗蝕劑材料的粘附。然後將晶片暴露在恒定的高壓下，在光致抗蝕劑材料中誘導光化學反應。一旦光致抗蝕劑暴露在電壓下，晶片就通過依賴超純化學浴的先進濕蝕刻方法進行處理。對蝕刻工藝進行了優化，以解決由於晶圓尺寸不同造成的蝕刻速率差異。接下來，用幹蝕刻完成蝕刻過程，創建最終的介電層。這種幹燥蝕刻工藝利用數字化版本的強等離子體快速智能蝕刻電介質，精度高達十分之一微米。蝕刻深度和所需介電厚度之間的緊密公差允許近乎完美的生產運行。最後，對蝕刻表面進行清洗，準備進一步處理。控制SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW機器行為的軟件提供了對蝕刻時間、電壓和溫度等參數的精確控制,以及對刀具的掩模輸入。此外，集成的糾錯算法有助於減少自然錯誤和人為錯誤導致的錯位問題，直觀、流線型的圖形用戶界面允許輕松操作和高效生產。總而言之，STI-15A-60V-4-AW光致抗蝕劑資產為不同尺寸的晶片基板上的介電層的生產提供了卓越的精度和可重復的精度。濕蝕刻和幹蝕刻的結合允許對過程進行更大的控制，而集成的軟件和圖形用戶界面提供了便利和靈活性，為成功的生產運行提供了必要的便利。