二手 ACCRETECH / TSK APM-90A #9236077 待售

ACCRETECH/TSK APM-90A prober是前端半導體和光電工業中使用的一種用途廣泛、精度很高的探測設備。它旨在快速、精確地測量小型器件的特性，並控制精密晶圓級元件的對準過程。該系統建立在一系列可容納多達7個軸的輕量級鋁基之上，包括一個獨立驅動的x-y- θ（θ是角位置）級、兩個聚焦級、一個ASU（一個自動級單元）和兩個接觸探頭。每級的射程為+/-8.8毫米，最大速度為10毫米/秒，受力範圍為0-2.3 N，步長為0.01 µm。它能夠精確對準和測量低至50 µm的探針,從而能夠自動分析設備深度、寬度、角度和外延等參數。Prober使用1600 mm x 1250 mm光學表提供了一個精確對準和低失真操作的穩定平臺。它還包括四個用於平面晶圓對準的數碼相機和四個用於探測過程中位置反饋的編碼器。控制器能夠控制多達六個獨立的電動機，這些電動機的設計目的是在對準和探測過程中減少振動噪聲。Prober與自動晶片處理單元集成在一起，該單元旨在減少錯誤並消除手動操作。機器可以在x、y和θ方向上將晶片移動到45mm，同時將可能影響測試數據的振動效果降至最低。Prober還包括一個可配置用於單個設備測試的板載激光深度控制,並提供10nm的測量精度。Prober還包括一個6軸運動控制，能夠控制多達12個接觸探針進行各種測量。最後,設計了一系列真實的測試條件,以模擬實際生產環境並確保質量性能。