二手 ACCRETECH / TSK APM-90V #9314145 待售
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ID: 9314145
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 1996
Probe station, 4"-8"
Hot chuck
Vacuum chuck: Nickel plated
Needle polish: Circle
No SACC
CPU Type: MVME 147S-1
Overall accuracy: Within 5 um
Fine alignment: CCD ITV Image processing
Hard disk: 3.5" 2HD (1.4M)
Display: 10.4" TFT Color LCD
X/Y-Axis:
Probing area: ±120 mm
Maximum speed: 200 mm/s
Z-Axis:
Full stroke: 34 mm
Maximum speed: 35 ms / 0.5mm Stroke
Θ-axis:
Rotation range: ±5°
Loader:
Casette mounts: 1 (Right single top)
Wafer Handing: Robot arm / Backside holding
Air supply:
Source pressure: 0.4 Mpa
Consumption: Approximately 0.1 liters / wafer
Vacuum supply: Less than -50 kPA , 30 l/min
Power consumption: AC 100V ± 10V, 50/60Hz, 1.5 kVA
Slot no / Board number / Board name
Slot 1 / MVME162 / Main CPU
Slot 2 / AVME-240 / Memory Board 128M
Slot 3 / - / EtherNet
Slot 4 / - / -
Slot 5 / TVME-322 FDC / SCSI / -
Slot 6 / - / -
Slot 7 / ITV / COGNEX4200
Slot 8 / FA0071A / Parallel In Out (PIO)
Slot 9 / FA0022C / XY Coordinater
Slot 10 / FA0037C / Sub - TTL / GPIB
Slot 11 / FA0139A / 5 Channels PGEN
Slot 12 / FA0132B / VGAC
Slot 13 / - / -
Slot 14 / FA0111 / CAP Sensor
Slot 15 / - / -
Slot 16 / AVME-115 / SLAVE CPU
Slot 17 / FA0013A / LD IO (Loader In Out)
Slot 18 / FA0014B / LD PGEN
1996 vintage.
ACCRETECH/TSK APM-90V是為執行晶圓測試、測量和探測而設計的prober。適用於直徑200毫米以上的晶片,能夠處理200多種晶片類型。Prober有高速晶片處理設備,具有光束滑動、多區和多區真空卡盤。卡盤采用靜態-動態組合設計,提供高效可靠的晶圓保持。集成的熱控系統保證了探測過程中準確的溫度和重復性。該探頭配有可識別模具型式的集成視覺檢測裝置,並為測得的晶片開發適當的探測路徑。它有一個可快速分析數據的主動視覺機器,能夠以更高的精度更快地測試時間。TSK APM-90V還配備了自動和手動(操縱桿)模式操作。在手動模式下,用戶可以使用操縱桿將測試頭移動到預先編程的位置,並進行校準、探測、測量和模具拾取。在自動模式下,用戶可以對測試頭的移動進行編程,以自動優化測試過程。Prober具有高級配方,允許用戶根據自己的具體要求參數化不同的測試。它還具有內置故障檢測工具,可以快速識別有缺陷的項目。嵌入式Microsoft Windows操作資產和綜合軟件程序增強了數據采集和分析能力。ACCRETECH APM-90V具有直觀的操作接口,並帶有一組接口,用於連接到其他設備和外圍設備。這包括圖形用戶界面、Ethernet/RS232界面和USB端口。Prober還具有模塊化設計,允許用戶根據需要使用其他組件自定義或升級它。
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