二手 ACCRETECH / TSK UF 3000 #9308941 待售
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已售出
ID: 9308941
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Wafer prober, 12"
Single loadport
KEYENCE BL-601HAC1 Cassette ID Reader
Chuck size, 12"
Chuck material: NICKEL Coating
ARTS-LC12 Low temp chuck
Chuck temperature range: -40~150℃
Temperature unified chuck
External chiller unit: SHI SCU500S
Auto probe to pad alignment
Needle mark inspection
Fail mark inspection
Surface wafer ID OCR: Insight 1700 series
Auto needle height and align: Auto / Manual card change
Soak time option
Probe card changer
3-64 Multi-site probing: 1~1024
ACCRETECH GPIB Interface: Standard command
RS232 Interface
MHF6000 Hinge manipulator
Test system interface: Micron C1D (Tester is not included)
Cold temperature
Side loader
X,Y Overall accuracy: ±2.0 µm (Temperature stability: ±1°C)
X,Y Stage accuracy: ±1.0 µm
Z-Axis stoke: 37 mm
Z-Axis control accuracy: ±2 µm
Stage durability: 200 kgf
Hot and cold chuck
SCU-600 Chiller
Temperature range: -40ºC to 150°C
No Hard Disk Drive (HDD)
2006 vintage.
ACCRETECH/TSK UF 3000是一種prober設備，旨在提供自動化晶圓探測和測試能力。該系統能夠同時支持多達8個晶圓探針卡,並通過可調X/Y級TABLE擴展來處理高達300 mm的晶圓直徑。它與Semiconductor Process Control （SPC）兼容，便於流程優化，而集成用戶界面（UI）旨在為用戶提供輕松編程和監控自動化prober單元的能力。TSK UF 3000具有模塊化設計,並提供了廣泛的功能列表,如獨特的雙級運動機器,可加快晶圓傳輸時間,並能夠在動態負載條件下快速重置晶圓。這樣可以提高吞吐量,提高晶圓容量,並大大縮短工程時間。綜合環境室還使該工具能夠用於溫度/濕度控制測試和穩定的溫度測量，使其成為測試各種設備的理想選擇。該資產還配備了高精度激光自動對焦，使其能夠管理各種不同類型的晶圓，從小到大的樣品。這使得模型能夠最大限度地減少機械探針未對準並最大限度地提高精度。此外，該設備還采用了真空晶片夾緊系統，以提高穩定性和可重復性。這是通過符合人體工程學的設計進一步優化的,該設計提供了低不舒服的運動範圍,從而減少了疲勞,提高了連續探測的精度。ACCRETECH UF3000還支持以太網遠程控制（ERC）功能和SPC/EPS Waveform測量功能,允許用戶遠程訪問和監視prober狀態和數據。最後，它與多種操作系統兼容，如Microsoft Windows、MacOS、Linux和Android，允許用戶輕松運行控制和監控設備所需的軟件。
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