二手 ACCRETECH / TSK UF 3000 #9354561 待售
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ACCRETECH/TSK UF 3000是一款功能齊全的prober,用於半導體行業,用於檢查和測試半導體元件。Prober旨在提供廣泛的分析功能,包括生產級探測、評估和精細探測、FIB橫截面分析、晶圓映射和TEM樣品制備。TSK UF 3000由多個模塊組成,包括一個樣本級、離子束控制、晶圓映射軟件和晶圓對準控制。樣品級設計用於硬質和軟質樣品處理,並帶有可選的舞臺內UV光源。晶圓映射軟件具有符合人體工程學的用戶界面和高速數據采集算法,可實現快速準確的實時映射。晶圓對準控制包括自動電平、軸對準和補償等功能。該裝置還包括一個離子束控制模塊,該模塊帶有高精度XY驅動設備。該系統具有高容量的偏轉單元、高精度的無擊擊XY和Z控制以及支持高速掃描的實時采樣功能。離子束可用於深溝成像、橫切、層蝕。此外,該機還采用了快速充電補償工具進行樣品保護。ACCRETECH UF3000還包括一個用於精細探測和高分辨率TEM樣品制備的FIB(聚焦離子束)橫截面分析模塊。此資產可提供各種樣品制備選項,例如背面蝕刻、背面提升、單向提升和薄膜蝕刻。最後,UF3000 prober還提供了全面的環境監測能力。這包括振動檢測和分析,以及溫度和濕度監測。這樣可以獲得一致的結果,並確保在最佳條件下執行所有測量。
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