二手 AXCELIS / FUSION 493095 #9216266 待售

AXCELIS/FUSION 493095是專門設計用於先進半導體制造工藝的先進探測設備，如3D封裝、翻轉芯片、矽、MEMS以及通過矽通過（TSV）技術。該系統能夠處理大規模生產，支持各種各樣的探測策略。FUSION 493095是一個強大的，交鑰匙生產探測單元。它配備了多達四個探針卡，為半導體生產提供了高度的靈活性。使用每個探針卡,機器最多可同時進行四次測量,從而實現更高的收益率。刀具的晶圓對準能力確保了精確的探針接觸和最小的表面失真，並通過其間接圖像觀察資產提供了更高的探測速度。該模型上的探針對準是通過使用檢測晶片位置的間接觀察設備掃描晶片表面來完成的。這一掃描過程是通過使用高分辨率激光對準結合高分辨率攝像機來完成的，該攝像機定位晶圓的中心及其特征。這種遠景系統允許晶圓上每個模具的精確對準，從而最大限度地減少了生產探測過程中模模變化。AXCELIS 493095還配備了一個自動宏微伺服單元，用於補償生產中的晶圓平面。其獨立、微觀和微觀伺服能夠調節探頭位置，每步可達七微米，從而實現與晶圓表面的高精度接觸。此外，它廣泛的宏軌道庫為各種探測技術提供了大量預定義和可定制的晶圓映射。493095包括具有完整PCI-Express通信接口的開放式體系結構設計,以及SCSI兼容性選項。它的軟件環境允許安全的網絡通信,允許各種網絡功能,包括FTP、數字證書和加密密鑰。這臺機器還對可以監控的柔性參數陣列提供實時視覺反饋，並允許廣泛的測試，包括晶圓測試、模具測試和重測模式。總體而言,AXCELIS/FUSION 493095是一款先進的高性能半導體制造工藝產品。其自動對齊和伺服系統確保了最高精度的探測,並且其完整的PCI-Express通信接口和SCSI兼容性確保了可靠的聯網和實時反饋。它提供了高度的靈活性和控制,使其非常適合各種生產探測需求。