二手 CASCADE MICROTECH / ALESSI Summit 11000 #9209218 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9209218
晶圓大小: 8"
Probers, 8"
Cold capability
With TEMPTRONIC chiller
Typical height to eye pieces: 55 cm
Platen:
Rigdity: <50-Micron (2 mil) for 4.5 kg lateral / Vertical force
Z-Litt range: 5.5 mm (0.22") Linear lift
Z-Lift repeatability: <2-Micron (0.08 mil)
Material: Nickel plated steel
Rotary stage:
Travel: ±7°
Resolution: 1° per Turn
Roll-out stage:
Travel: 25 cm
Chuck:
Size: 200 mm
Diameter: 150 mm Stations
Surface: Gold-plated / Nickel-plated aluminum
With provisions for grounding / Biasing
X-Y Stage:
Travel: 203 mm x 203 mm
Resolution: 0.2" Per turn
Bearings: Cross-roller
Micro chamber:
EMI Isolation
Light tight
Enclosure: Dry air & inert gas purge capable
Maximum positioners: (8) DCM (Seven with high-power microscope) / (4) RF
Chuck specifications:
Flatness: 0.39 mils (10 Microns) Across total surface
Isolation & chuck to shield: > 10Ω
Auxiliary chucks: Two with Individual vacuum controls
Breakdown bias voltage: > 1000 Volts
Vacuum distribution area: 13, 75/152 mm (Selectable)
Total system planartiy:
<20-Mlcron (0.8 mil) across 101 mm
Circle: 4"
<30-Micron (1.2 mil) across 203 mm
Circle: 8".
CASCADE MICROTECH/ALESSI Summit 11000是一個專為參數化、分析和測量晶圓上的半導體器件、基板和電路而設計的prober。Prober配備精密運動控制設備，使其能夠將晶圓或樣品從一個測量點精確移動到下一個測量點。ALESSI Summit 11000結合了一個XYZ級和一個三軸傾斜儀，用於精確的對準和運動控制。它還具有垂直負載調平功能，以改善樣品與針頭的對齊。Prober具有高分辨率、高動態成像系統，由快速響應時間相機、圖像捕捉、照明控制和自動對焦算法組成。這種成像裝置設計用於改進晶圓映射、自動圖像對準和雙曝光。CASCADE MICROTECH Summit 11000還包括一個優化的自動化探測過程,它能夠測量接觸電阻、測試點和外部連接。Prober由基於Windows的圖形用戶界面提供支持,可以與Waferhound、Spike和Configure&Connect等其他工具集成。利用Waferhound,用戶可以快速獲取有意義的數據進行調試和分析。Spike允許自動進行prober狀態日誌記錄。配置和連接允許通過網絡對prober進行遠程安全訪問。還可以為不同類型的測量配置Summit 11000,包括片狀電阻、上電阻、設備參數、基板參數和設備特性。可選的Integrated Test Network（集成測試網絡）允許進行多種設備測試、查看模具和探測器信息,以及全面執行高級設備表征方法。Prober設計為與其他工具集成,允許與Wafer Level Reliability （WLR）測試工具進行高級集成。它還可以進行箱形測量以提高精度。CASCADE MICROTECH/ALESSI Summit 11000旨在提高半導體測試行業的可靠性和生產率。它具有可靠性工程特點，如內置溫度監測機、可重復對準機構和高分辨率清潔針。此外,prober還通過自動探測算法幫助工程師減少周期時間和生產成本。
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