二手 ELECTROGLAS / EG 2001X #293604672 待售

ELECTROGLAS/EG 2001X是一種專為半導體晶圓測試和探測而設計的探測器。它由大型機、XY舞臺、prober head和工作站組成。大型機為prober提供基礎,並控制工作站、XY舞臺和prober head。它配備了兩個CPU和各種輸入/輸出接口。XY級提供晶片的精確且可重復的運動，用於測試設備的prober head組件。它是由兩環電機控制系統驅動的伺服電機驅動級，精度為5µm。螺旋槳頭為晶圓器件的測試提供3個運動軸，Z分辨率為10µm，可重復精度為10µm。Prober head配有手柄、氣動驅動的prober arm、prober tip和自動對準工具。手柄用於在探測時操縱手臂和尖端，而氣動驅動的手臂則提供對螺桿尖端的精細控制。prober尖端是探針與被測試設備之間的接口,而自動對齊工具用於定位和固定設備的探針尖端。工作站為操作員提供了一個圖形用戶界面（GUI）,用於設置和控制prober和XY階段,以及從正在測試的設備收集數據。工作站還通過使用模式編程和晶圓映射軟件來實現設備表征。它可用於處理和分析數據以評估設備性能。EG 2001 X利用多種技術來確保半導體晶片的準確和可重復的測試和探測。Prober的每個組件都是按照嚴格的規格構建的，系統設計為提供可靠和可重復的結果。