二手 KARL SUSS / MICROTEC PA 150 #9023923 待售
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已售出
ID: 9023923
Mask aligner
8" vacuum chuck
Mitutoyo FS-60 microscope
M Plan APO 10x, 20x, SL100X (super long working distance), 10x/24 eyepieces
Sony DXC-107A video camera
Suss power supply and joystick controller Integrated vacuum manifold
Optional:
Karl Suss dark box with TMC isolation table
Karl Suss micropositioners, 6 available.
KARL SUSS/MICROTEC PA 150是一個高性能晶圓探測站,專為晶圓探針應用而設計。它配備了嵌入式控制器,以及提供快速準確測量的直觀軟件。Prober能夠從100 µm到300 µm,以200 µm的間距使用Patterns探測。MICROTEC PA 150的上層用映射激光器內部校準,確保測量探頭和裝置路徑的準確性。Prober配備了x-y-z手動級,具有精確移動晶片或基板的能力。X級可以配置為在x軸上移動到370mm,而y軸可以達到570mm的寬度,從而允許各種晶圓大小和配置。它還配備了高速掃描級,以最高50毫米/秒的速度移動,同時保持MICROTEC卓越的精度和控制。機載溫度穩定系統進一步支持其精確掃描能力,使各級熱膨脹均勻減少。每個KARL SUSS PA-150還配備了高度精確的測量能力。該探測器能夠從單個晶體管或具有高重復性的整個晶圓測量中收集數據。Prober的板載自動對準,允許單個芯片或整個晶片與探針快速精確對準。最後,KARL SUSS/MICROTEC PA-150提供了絕對位置系統,使用戶可以自由配置工具以滿足其確切需求。它還提供了一個可選的負載鎖以實現汙染控制。總之,PA-150是一種非常精確可靠的晶片探針,非常適合研發和小批量生產。它能夠處理各種各樣的晶圓尺寸,並為高效的探測過程提供高度的精度和控制。
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