二手 KLA / TENCOR 1007 #9150404 待售

KLA/TENCOR 1007是一種半導體晶片檢驗和計量工具，設計用於精確分析用於制造集成電路的光刻光刻工藝所產生的圖樣矽片。KLA 1007 Prober利用先進的光學、圖像處理算法和各種計量軟件來測量晶圓上模式的詳細參數。TENCOR 1007 Prober設備由機器人定位晶片級、圖像采集和照明光學、專用光源和成像模式、多種晶片檢測和計量（IM）軟件算法以及強大的數據處理和分析軟硬件組成。該系統的設計目的是在過程監測、產量分析和故障分析等各種計量應用中提供極其精確的測量。Prober包括一個先進的圖像分析單元，用於檢測光刻誤差，如過切、底切、橋接和其他結構缺陷。它還使用白光幹涉法對表面特征進行三維分析。可以修改Prober以包括「自動缺陷分析」（ADA）選項,該選項可以檢測、分類和測量單個圖像中的幾何和結構缺陷。該機器還包括一種專有的高對比度檢查（HCI）模式，該模式改進了對細微且往往難以檢測異常的檢測。Prober還包括一套全面的計量學算法，旨在檢測、確定大小和分析各種各樣的圖案和形狀缺陷。它可以執行線寬、臨界尺寸（CD）和臨界尺寸均勻性（CDU）等全局測量,以及更高級的測量,如線緣粗糙度（LER）、堆棧測量和輔助特征分析。為了進一步的過程控制，Prober具有基於配方的基板映射等功能，可以快速準確地映射整個晶圓。1007 Prober兼容各種光掩碼、抗蝕劑和蝕刻化學，可與SEM平臺集成，用於數據的跨平臺驗證和關聯。Prober全面的度量數據報告提供了完整的可追蹤性,以實現改進的過程控制、快速的產量改進和準確的特征量分析。總體而言，KLA/TENCOR 1007 Prober在晶圓計量和半導體制造工藝優化方面設定了一個標準。