二手 KLA / TENCOR 1007E #9254091 待售
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KLA/TENCOR 1007E Prober是為半導體器件測試操作而設計的多應用程序Prober。Prober由多個組件組合而成,包括全自動DPM（數字模式測量）模塊、舞臺、步進電機和光機頭。這種組件組合為測試小型集成電路提供了高性能、可靠、準確的方法。DPM模塊具有高清分辨率監視器,允許精確的模式測量,以及專用的視頻處理組件,如幀緩沖器和CCD成像芯片。該級采用閉環步進電機，能夠精確定位樣品，以每秒0.1至2.0微米或更高的速度探測。光機頭利用光學成像系統將探針精確對準樣品表面。頭部還能夠快速調整其位置，允許可重復的低噪聲探測。KLA 1007E Prober被設計成一個通用、高效的半導體器件測試和表征系統。Prober包括一個集成的階段控制控制臺（SCC）,用於配置、控制和監視prober的操作。SCC具有一個可訪問所有prober命令的控制面板,以及用於實時設置和監視prober性能的圖形用戶界面。此外,它還提供程序文件,使用戶能夠存儲和召回探測器和舞臺配置。TENCOR 1007E Prober被設計為與各種探測系統兼容，包括接觸探針、應變計探針、利茲導線和開銷探針。它也可以與介電探針一起用於熱表征。Prober配有數字輸入輸出（I/O）端口,用於連接PC以進行數據采集和控制。內置隔離層可保護設備免受可能影響測量的靜態、熱量和其他幹擾。綜上所述，1007E Prober是一種用於半導體器件測試操作的多應用自動化Prober。它有一個高精度的DPM模塊，一個可靠的步進電機定位樣品，和一個光機頭可重復探測。Prober與各種探測系統兼容，並具有用於編程、控制和監控的Stage Control Console。內置的隔離層保護設備不受各種環境影響，允許精確和可重現的測量。
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