二手 MICROMANIPULATOR 6600 #9272821 待售
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ID: 9272821
Probe station
With isolation table
Includes:
(6) Collet shaft assemblies
O-rings
(2) MICROMANIPULATOR 450
(2) MICROMANIPULATOR 550
(35) Picoprobe tips:
12C-4-10
12C-1-22
12C-4-22
18B-4-20
18B-4-10
18B-4-20
(5) 12C and 18B picoprobes probe gain
Gomco vacuum for probe station
Air compressor for isolation table
Hot chuck
KINETIC Systems isolation table
With granite slab
(4) Picoprobe controllers
Objectives: 2.25x, 8x, 25x, 50x, 10x Eyepieces.
MICROMANIPULATOR 6600是一款先進的PROB,設計用於先進的半導體工藝分析。它是一個高精度、高性能的平臺,使用一系列內置傳感器來收集和分析來自半導體過程的數據。6600能夠測量和控制過程環境和被測基板的溫度。它采用三通道溫度控制,溫度在-50至+190攝氏度之間。機載自動校準意味著隨著時間的推移可重復分析。它還具有± 0.05°C的低漂移速率,保證了高精度的溫度控制。除了溫度控制,MICROMANIPULATOR 6600還具有廣泛的其他功能,旨在優化過程控制和分析。例如,它的自動同步和自動聚焦功能允許prober尖端與正在測量的基板特征精確對齊。自動歸零、自動偏移和自動粗糙對齊可確保在設備使用壽命內保持準確性。6600還具有高級掃描控制系統,其中可以同步多個探頭以自動獲取數據。該設備可配置為標準掃描速率和快速掃描速率以獲得最大性能。此外,還可以使用扇區掃描和跳過掃描來減少收集的數據總量。MICROMANIPULATOR 6600的其他特性包括非接觸式行程監控、精確升力控制、2通道電子束偏置控制、碰撞檢測、臨界過程流數據報警機和過溫保護。該工具與多種數據格式兼容,為用戶提供了以多種方式分析結果的能力。6600是半導體工藝分析的有力工具。其先進的控制功能、高精度的傳感器陣列和廣泛的功能使用戶能夠詳細捕獲和分析數據,以實現最佳的過程控制。
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