二手 MICROMANIPULATOR PROBE STATION #293634835 待售

MICROMANIPULATOR PROBE STATION是一種用於半導體器件全面電氣表征的自動化Prober設備。它結合了人工探測的便利性和自動化測試的精確度。自動化PROBE STATION包括定位精度優於5 µm的精密微米、Z軸平移級、XY平移級和旋轉級，提供六自由度運動控制。其專門的軟件和硬件系統可實現快速晶圓交換和對準,以及精確的電氣測量。MICROMANIPULATOR PROBE STATION系統在探測、表征和測試方面具有極大的靈活性。它由三個主要部件組成，一個螺旋槳和兩個準備區（用於電氣和熱調節）。該prober用於對齊和連接測試房間探針到被測試晶片。電氣準備區包含執行電氣測試所需的元件，而熱調節區則設計成可容納高達300 °C的高溫範圍。Prober站還可以配備各種附加功能，如靜電計、電流測量、電容計等。這些特性用於需要精確電壓和電流測量的復雜測試，以及半導體器件的故障分析。除了這些基本部件外，prober站還可以配備多種配件和升級。其中包括電子顯微鏡、自動晶圓映射單元、自動處理程序和智能光學系統。自動處理程序有助於晶圓交換和對準，而電子顯微鏡允許觀察正在測試的晶圓。智能光學機器用於探頭與設備的精確對準.PROBE STATION構成了集成電路電氣表征的可靠自動化平臺，實現了廣泛的測量、詳細的檢查和分析。其特性和組件的靈活性在廣泛的半導體應用中獲得準確、全面和可重復的結果非常有利。