二手 SEMICS Opus II #9134401 待售

SEMICS Opus II是為半導體檢查而設計的掃描電子顯微鏡（SEM） prober。它能夠測量閾值電壓、柵極泄漏電流和信道載波移動性等電氣參數，以及小面積表面拓撲的測量。螺旋槳的大尺寸使它能夠同時測量同一晶圓上的多個設備，而機器的精度和精確度允許精確測量。Opus II由一個真空包絡、一個梁柱和舞臺組件、一個探測站和一個標本架組成。真空包絡作為一個環境，被測試的樣品可以保持在真空。光束柱和舞臺組件容納了電子光學元件，即電子槍源、電磁透鏡和目標組件。探測站的設計是為了將探測儀精確地安裝和操縱到試樣表面。它還包含被測裝置的偏置和電氣測試所需的電子設備。標本架作為熱源，設計為一次最多可容納四個晶片。SEMICS Opus II利用場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）。這類SEM利用電子槍而不是常規的熱電子源，這意味著它不受熱能效應的限制。FE-SEM能夠提供小型表面拓撲的詳細圖像,還可以對小型設備進行電氣測量。Opus II還提供各種支持功能，使準確測量被測設備成為可能。可以自動校準樣品表面,以精確地將探針放置在設備上。它還允許背面和正面成像，以及電氣測試，來測量諸如閾值電壓、電阻率和電容等參數。SEMICS Opus II是一款先進的prober，旨在為半導體器件提供可靠準確的測試結果。它能夠測量同一晶片上的多個設備，能夠提供小表面拓撲的詳細圖像以及精確的電氣測量。它是檢測和測試半導體器件性能的有效工具。