二手 SEMICS Opus3 #9223053 待售
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已售出
ID: 9223053
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2015
Wafer prober, 8"-12"
Linear stage system
Foot print with flat top
Cassette map with camera
GUI Based on windows
Wafer change & index time
Soft contact for low "K" device
VNC Support
Probe mark inspection
Main body: Ambient and hot (Up to 150°C)
System interface: GPIB
Stage:
FOUP: 12"
Chuck: 12" (Hot chuck)
OCR Unit: SEMICS OCR
Auto card changer: 480 mm
Card holder: 350 mm (Steel holder)
Needle clean unit: 200 mm X 100 mm Ceramic plate (Load 30Kg)
Alignment camera: Macro camera
Loader:
Arm: Arm 1,2
Rotation unit: 360° Turn table
Elevator unit: Stroke AC servo motor, 330 mm
Wafer recognition unit: Camera
Fixed tray: Tray 1, 2
Inspection tray: Tray 1
Computer:
CPU: Pentium 4 4.2 GHz
HDD: 80 GB
Memory: 2 GB
Monitor: 15" (Touch monitor)
Operating system: Windows XP
Basic function:
PMI
PTPA
PTMA
PTPO
Needle polish
OCR
X,Y Stage:
Overall accuracy: ±1.5 μm
Probing area X,Y: ≤165 μm
Maximum speed: 300 mm/sec
Index time: 160 msec/10mm
Resolution: 0.035 μm
Z Stage:
Control accuracy: ±1 μm
Resolution: 0.18 μm
Full stroke: 30 mm
Speed: 50 mm/sec
θ Axis:
Rotation range: ±6°
Accuracy: ±0.0002°
Resolution: 0.0025μm
Wafer handling:
Thickness: 180 μm to 2000 μm
Die size: 350 μm to 100000 μm
Chuck:
Planarity: 15 μm
Temperature range: Ambient to +150°C
Temperature accuracy: 100°C : 0.5°C
Computer:
CPU: 15 Dual core 2400 3.0GHz
Storage memory:
HDD: 500 GB
RAM: 3 GB
Utility:
Air pressure: Above 0.5 Mpa, 100 Liter/Min
Vacuum pressure: -70 Kpa ~ -100 Kpa, 20 Liter/Min
Air vacuum external diameter tube: Ø6 mm, 1 Line
Power: 200 ~ 240 VAC, 25 A, 1 Phase, (3 Wire), 50/60 Hz
2015 vintage.
SEMICS Opus3是一種通用Prober,用於支持測試和探測各種設備包,如DC、邏輯和電源設備。它采用多釋放頭配置,可同時探測多達四個側面或最多三個層。借助高精度的頭部對準,也保證了最佳性能。使用開放式框架體系結構制造的prober還能夠在很小的區域或占地面積內有效地支持各種流程。由於包括熱膨脹補償特征，高溫試驗時也能達到很高的穩定性。SEMICS OPUS 3附帶了多種測試處理程序可供選擇，如其Multi@@-Handler@@-GT、Multi@@-Handler@@-FL和Multi@@-Handler@@-GPL。此螺旋槳中還包括氣動控制的真空夾具、支持視覺對準的專有圖像處理功能以及高度精確的無碰撞Z機械手。此外,Opus3還能夠從使用接觸指向技術的IC芯片獲取定向信息,並具有「源定向識別」功能。除了其常規的測試和探測功能外，該prober還配備了多種軟件來促進設備編程和測試。其中包括Optic InstruX （OIX）、探測和測試優化工具（TPTO）、網絡支持工具（NST）、Prober級遠程接口工具（PLRIT）、設備設置工具（EST）等。而且，探頭、卡盤適配器、視覺模塊、插值器等一系列附件也可用於更好的控制和操作。通過所有這些功能,OPUS 3被證明是對各種設備包進行高效測試的理想解決方案。從探測、測試到編程，所有操作都可以以最大的精度和速度進行。
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