二手 SIGNATONE S-460 #293621435 待售
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ID: 293621435
Analytical wafer prober, parts system
Probe station stage
Base assembly
MITUTOYO Eyepieces
MITUTOYO Brightness controller
Does not include lenses or micro positioners and power supply.
SIGNATONE S-460是一種用於半導體器件晶圓探測的探針.S-460配有兩個探針,允許兩個電氣連接到晶片,以及控制針頭溫度和腔室環境溫度的獨立溫度控制器。這允許用戶選擇範圍廣泛的溫度,便於測量不同的物理參數。Prober具有X-Y-Z龍門結構,允許測量頭在晶圓上移動,以便與任何所需的點進行接觸。SIGNATONE S-460將直線軸承、交叉滾動軸承、諧波驅動器和內部獨立交流伺服電機結合在一起,能夠在15毫米× 15毫米的測量範圍內以最小誤差進行測量。Prober能夠達到高達每秒60毫米的速度,從而使測量效率更高。S-460配有高力感應系統,適用於重型裝置探針卡。該系統由集成到其針頭探頭中的負載單元以及力監視器組成。載荷單元測量針運動產生的力的大小,而力監視器跟蹤和顯示這種力的細節。這允許用戶以最小的誤差監視晶圓上的每個聯系點。SIGNATONE S-460還提供了晶圓對齊的掃描功能。允許用戶掃描編程的形狀或對齊標記,掃描儀通過映射對齊標記使探測過程更加高效和準確。S-460與提供高級控制功能的軟件集成在一起,例如對測量中的任何錯誤進行自動補償,以及對探針的熱效應進行補償。軟件還提供了圖形用戶界面,因此用戶可以快速輕松地為prober選擇所需的設置。總之,SIGNATONE S-460是一種功能強大的探頭,它為半導體測量提供了廣泛的功能,包括兩個針頭探頭、一個高力傳感系統和一個掃描功能。高級控制軟件為用戶提供了快速準確測量晶圓物理參數的工具。
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