二手 TEL / TOKYO ELECTRON 19S #9281922 待售
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ID: 9281922
Prober
X-Y Stage
Stroke: 184mm x 382mm
Speed: 125mm/sec
Resolution: 0.25µm
Z Stage
Stroke: Max 15mm(50µm probing)
Speed: 62m/sec (up-down)
Resolution: 5.0µm
Angle of rotation: Max ±10
Control resolution: 0.52µm (0.000477)
Driving method: Stepping motor system utility
Air: 4.0kg/cm²
Min: 5l/min
Max: 30l
Vacuum: 400~700mm/hg
Ambient conditions:
Temperature: 25°C ±3°C
Humidity: 65%
Wafer size: 3"-6" diameter
Chip size: 250 - 99999µm
Wafer thickness: 300~1000µm
Direction of probing:X Axis
Overall accuracy:15µm Max/6"
Power: 220 VAC(+20% to 5%) 1.5kVA.
TEL/TOKYO ELECTRON 19S是為半導體集成電路(ICs)和片上設備(SoCs)等納米級器件的表征和測試而設計的prober。該prober具有圖像捕獲系統,用於對微小型和納米級設備進行高分辨率成像,用於故障分析、逆向工程、產量改進、可靠性分析以及其他需要對設備進行詳細目視檢查的應用。TEL 19S將先進的電氣探測系統與精密矢量網絡分析儀(VNA)和一系列可編程測試插座結合在一起,以便為各種設備類型和大小提供電氣特性。該程序還包括用於射頻(RF)測試、光學器件表征和電路定時分析的附加光電測試系統。TOKYO ELECTRON 19 S最多支持8個測試定位器,允許多個同時的模具探測操作。Prober的圖像捕獲單元還提供了許多高級成像功能,如自動2D和3D測量、縮放/平移第一失敗分析、感興趣的區域(ROI)成像、區域掃描和縫合、薄膜沈積厚度測量以及X射線模式比較。通過將光學和電氣測試功能相結合,19S可以定量分析被測設備的性能,並提供可靠的數據以及對其狀況和結構的詳細可視化表示。TOKYO ELECTRON 19S被設計成在廣泛的溫度範圍內運作,包括極低的溫度,以及在多種環境條件下運作。它的最先進的溫度測量機允許同時監測多達六個溫度區,確保在所有測試系統中進行準確和可重復的溫度測量。此外,Prober還設計用於輕松設置和程序開發,使客戶能夠以最小的努力快速創建和部署測試程序。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON 19 S是一個高度先進的推進器,能夠在各種設備上提供全面的電氣和光電測試。19 S通過將一系列精密傳感器、矢量網絡分析和成像系統合並到一個軟件包中,為納米級設備的表征和測試提供了前所未有的準確性和可靠性。
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