二手 TEL / TOKYO ELECTRON 20S #9069027 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON 20S是為半導體生產而設計的手動模具。Prober以40 x 40毫米懸臂為特色，半徑為5微米，均勻的靜態和動態平坦度為2微米或以下。手臂安裝在5毫米厚的不銹鋼框架上，該框架用垂直和水平穩定器進一步加強。它的兩個獨立和可獨立操作的五軸電機級以0.00017度的分辨率運行。Prober配備了樣品加載系統、真空調平晶片級以及3D顯微鏡和激光對準系統。TEL 20S在所有五個軸上均具有卓越的運動精度和0.1微米以下的可重復性。其可調樣架和調平器可支撐15mm-215mm晶圓，最大升力為12微米，創造高效準確的樣本量檢測和對準。TOKYO ELECTRON 20S還支持使用多區域溫度控制的常規測試和快速熱處理（RTP）。它有三個不同的區：樣品和加熱器、卡盤和晶圓.Prober具有廣泛的可編程參數範圍，包括壓力、位移、電壓、時間和溫度。20S的設計考慮了可靠性和性能。其輕質框架防止振動幹擾，其強制通風系統采用高速低層流設計，以盡量減少空氣中的微粒汙染。它具有用於快速和高精度運動控制的現場可編程門陣列（FPGA）。TEL/TOKYO ELECTRON 20S還設計了多種安全功能和充足的內置測試和測量功能。Prober提供高效的熱控制系統,能夠控制溫度降至-60°C和+400°C。最後,它具有簡單而直觀的圖形用戶界面,便於操作和配置。